采用直接氮化法制備高端α-Si?N?粉體，α-Si?N?＞94%（XRD檢測），游離硅≤0.3%，O＜0.5%，C＜0.1%
高端氮化硅粉體燒結(jié)爐具有H2安全保護(hù)、防竄氣技術(shù) 、多段溫度曲線設(shè)定，多種氣體流量自動(dòng)精準(zhǔn)控制（無需人工調(diào)節(jié)）、脈沖式充氣、氣體循環(huán)控溫、發(fā)熱體衰減檢測、發(fā)熱體漏電監(jiān)測、全面故障自診斷等功能。主要用于高端氮化硅粉料的生產(chǎn)。
